Tikslus paviršiaus valymas ir valymasGydymas
Mes specializuojamės teikiant profesionalius valymo ir paviršiaus apdorojimo sprendimus pažangioms proceso technologijoms. Integruodami išteklius iš strateginių pramonės partnerių, bendradarbiaujame siekdami teikti visapusišką paslaugų palaikymą savo klientams. Mūsų partneriai turi daugiau nei 20 metų praktinę patirtį puslaidininkių srityje, o komandos turi techninę patirtį, apimančią iki 14 nm mazgo. Jie gali patikimai teikti valymo ir paviršiaus apdorojimo paslaugas 8 colių ir 12 colių plokštelių gaminiams, apimančius tokius procesus kaip fizinis nusodinimas iš garų (PVD), cheminis nusodinimas iš garų (CVD), ėsdinimas ir jonų implantavimas.
Veikdami kaip paslaugų tiltas, mes panaudojame savo partnerių brandžias kokybės valdymo sistemas ir reaguojančias paslaugų galimybes, kad padėtume integrinių grandynų ir plataus masto puslaidininkių gamybos klientams spręsti griežtus kokybės kontrolės ir procesų iššūkius, teikdami veiksmingą ir stabilų paslaugų palaikymą.
Tikslaus valymo atvejų tyrimai
Mėginių tyrimas po preciziško plovimo, dalelių lygis ir metalo jonų likučių lygis paviršiuje turi atitikti dabartinio 28 nm proceso reikalavimus.
-
Prieš -
Po to
-
Prieš -
Po to
-
Prieš -
Po to
-
Prieš -
Po to
Tikslus valymo ir atkūrimo procesas
-
Atvykimo apžiūra
Atvykimo apžiūra
Patikrinkite išvaizdą, specifikacijas ir pažeidimus.
-
Maskavimas
Maskavimas
Apsaugokite{0}}neapdorotas vietas nuo korozijos.
-
Cheminis pašalinimas
Cheminis pašalinimas
Tiksliai pašalinkite senas dangas.
-
Skalavimas/mirkymas
Skalavimas/mirkymas
Cheminių medžiagų likučius pašalinkite grynu vandeniu.
-
Maskavimas
Maskavimas
Apsaugokite vietas nuo smėliavimo.
-
Smėliavimas
Smėliavimas
Sureguliuokite parametrus, kad pasiektumėte tikslinį šiurkštumą.
-
Dydžių nustatymas ir patikra
Dydžių nustatymas ir patikra
Išmatuokite ir pataisykite matmenis, kad atitiktų specifikaciją.
-
Terminis purškimas
Terminis purškimas
Užtepkite{0}}dėvėjimuisi atsparias dangas per lanką arba plazmą.
-
Aukšto{0} slėgio plovimas
Aukšto{0} slėgio plovimas
Pašalinkite dideles paviršiaus daleles.
-
Ultragarsinis valymas
Ultragarsinis valymas
Atlikite tikslų valymą, kad pašalintumėte smulkias daleles.
-
Džiovinimas švarioje patalpoje
Džiovinimas švarioje patalpoje
Kruopščiai išdžiovinkite komponentus 100 klasės švarios patalpos orkaitėje.
-
Galutinė apžiūra
Galutinė apžiūra
Atlikite išsamius patikrinimus, kad užtikrintumėte atitiktį.
-
Pakuotė
Pakuotė
Vakuuminio paketo komponentai pagal kliento reikalavimus.
-
Siuntimo auditas
Siuntimo auditas
Patikrinkite kiekį ir pakuotės vientisumą.
-
Galutinis pristatymas
Galutinis pristatymas
Kurkite ataskaitas ir pristatykite.
Paslaugos galimybės
► 5000m2(55000 kv. pėd.) švarus dirbtuvių plotas.
► Daugiau nei 50000 vienetų per mėnesį apdorojimo galimybė.
► 365 dienos nuolatinio ir efektyvaus aptarnavimo.
► Skirtingi produktai, skirtingi procesai.
►8 pirmaujanti apdorojimo linija, įskaitant technologijas:
- Cheminis valymas / nuėmimas, fizinis pašalinimas
- ARC-purškimas, plazminis purškimas, dengimas, tekstūravimas, valymas vakuume ir pakavimas, kapitalinis remontas ir kt.
Techninės galimybės
► Procesas: 14 nm išplėstinis procesas
► Aptarnavimo sritis: 4 colių, 6 colių, 12 colių puslaidininkinių dalių
► Aptarnavimo procesas: PVD/CVD/ETCH/IMPLANTAS/LITHO
► Griežta kokybės kontrolė: aukštos{0}standartinės tikslios valymo technologijos