Rutenio taikinys

Antioksidantas,{0}}atsparus korozijai ir tolygiai formuojantis plėvelę-. Tai labai patikimas plonos{2}plėvelės nusodinimo sprendimas puslaidininkių ir duomenų saugojimo programoms.

Rutenio purškimo taikinys yra platinos grupės tauriųjų metalų purškimo taikinys, pagamintas iš didelio{0}}grynumo rutenio (Ru) gryninant, lydant, kaliant ir tiksliai apdirbant. Jis pirmiausia naudojamas fizinio garų nusodinimo (PVD) magnetrono purškimo procesuose. Šis produktas pasižymi aukšta lydymosi temperatūra, dideliu kietumu, puikiu atsparumu oksidacijai ir cheminiu stabilumu, todėl galima gaminti vienodas ir tankias rutenio plėveles. Jis randa daug pritaikymų pažangiosiose puslaidininkių atmintyje, integrinių grandynų jungtyse, difuzijos barjeriniuose sluoksniuose ir duomenų saugojimo bei rodymo įrenginiuose.

Siųsti užklausą

Produkto aprašymas

Ši rutenio taikinių serija yra gaminama iš didelio{0}}grynumo rutenio žaliavų, todėl lankinio lydymosi ir grūdelių rafinavimo procesai pasiekia didelį tankį ir vienodą mikrostruktūrą. Produktai gali būti įvairių konfigūracijų, įskaitant plokštuminius ir besisukančius taikinius, ir palaiko indžio -surišimo / elastinio korpuso-surišimo galinės plokštės paslaugas, todėl jie tinka nuolatinės srovės purškimo programoms.

Funkcija

Aukšto grynumo, įprastos klasės, galima įsigyti itin{0}}aukšto grynumo specifikacijų.
Didelis kietumas, puikus atsparumas dilimui ir puikus atsparumas oksidacijai bei korozijai.

Pernelyg aukšta lydymosi temperatūra ir puikus stabilumas aukštoje{0}}temperatūroje.
Plėvelė pasižymi vienodu nusėdimu ir dideliu tankiu, todėl tinka pažangiems puslaidininkių gamybos procesams.

Specifikacijos ir modeliai

Dėl pritaikytų matmenų, storio, grynumo ar techninių specifikacijų nedvejodami susisiekite su mumis. Galime pasiūlyti pritaikytus medžiagų sprendimus pagal jūsų purškimo įrangą, dangos reikalavimus ir matmenų specifikacijas.

Klasifikacijos matmenys	Produkto tipas	Pagrindinės savybės
Grynumo laipsnis	Skirtingi grynumo laipsniai	Bendrosios paskirties-puslaidininkiams, ekranams ir atminties įrenginiams.
Produkto formatas	Apvalus plokštuminis rutenio taikinys	Standartinės specifikacijos, suderinamos su dauguma purškimo įrangos.
	Stačiakampio/bloko{0}}formos rutenio taikinys	Tinka dengti didelius{0}} plotus.
	Besisukantis rutenio taikinys	Tinka dideliems{0}}plotams, didelio-efektyvumo nusodinimui.

Taikymas

Puslaidininkiai: DRAM/MIM kondensatorių elektrodai, sujungiantys difuzijos barjero sluoksnius.
Išplėstinė saugykla: magnetinė saugykla, fazė{0}}keitimo atmintis, varžinė atmintis.
Integrinė grandinė: vario sujungimo sėklų sluoksnis, barjerinis sluoksnis ir loginis įrenginys.
Ekrano įrenginiai: Plokštieji{0}}ekranai, OLED plonosios plėvelės elektrodai.
Optoelektronika ir fotoelektra: optinės dangos, funkciniai fotovoltinių elementų sluoksniai.
Tikslioji elektronika: susidėvėjimui{0}}atsparūs elektriniai kontaktai, storos-plėvelės rezistoriai, jutikliai.

Populiarus Žymos: rutenio tikslas, Kinijos rutenio tiksliniai gamintojai, tiekėjai, gamykla